ユニティSC (Unity SC)

TTV、各貼り合わせ基盤の厚み、成膜層の膜厚、高アスペクト比 TSV、表面粗さ計測 など、測定目的に合わせて各種センサーを準備しております。

ドイツ・ドレスデンに開発・製造拠点を持つウエハー光学検査装置メーカーの 旧HSEB Dresden GmbH社 (現 Unity Semiconductor GmbH社) は、高精度・高スループットのAOI (自動光学検査機) をワールドワイドに展開しております。また、FDSOIウエハー向け膜厚測定機などもお取り扱いしております。

ウエハーの裏面のみ、または表面・裏面を高速度・高精度に同時検査できる装置です。裏面の欠陥位置情報を、表面の欠陥情報に加えてアプトプットします。オプションでエッジ検査機能も付加できます。

白色干渉技術による非接触表面粗さ計測、高アスペクト比のトレンチ計測等が可能です。高分解能、ハイスループットで品質管理工場へ貢献いたします。

フランスの半導体ウエハー測定・検査装置メーカーのユニティSC は、半導体業界の流れである次世代パッケージプロセス、パワー半導体、MEMS向けへの様々な検査技術をワールドワイドに提供しております。