L-TRIS社 「ウエハートリム装置 M350」
L-TRIS社製ウエハートリム加工装置は、デバイス上のラダーデジタルトリム、また抵抗値を計測しながらのオンライントリムへ最適なソリューションをご提案いたします。
特長
- ウエハーレベルでの高精度、高速トリム機能
- IR帯域レーザー波長、レーザー径6.5um、パルス幅 7ns / 50ns が選択可能
- レーザートリマー、プローブシステム、抵抗値計測の一貫したシステム構成
- プローブビジョン、モーションコントロールによる高精度位置管理機能
Brand
L-TRIS社はドイツ・ミュンヘン近郊クライリング市にてレーザー微細加工装置の専門メーカーとして創業しました。各レーザー光源メーカーとの協業と独自開発技術により全世界で2,000台以上の納入実績があります。米国ESI社よりウエハートリム装置、レーザートリム装置の事業移管を受け、製造・保守サービスを担っています。量産機でのデモルームを保有し、サンプルテストおよびアプリケーション開発を行うことができます。
