Bernex BPXpro CVDシステムは、デュアルPC制御システム、全自動のプロセスコントロール、セルフ診断機能を持つ最新のCVDシステムです。
CVDのオプションモジュールは、標準のシステムに加え、高度な成膜機能を付加し、操作性や装置の能力や安全性をさらに高めます。
オプションモジュール
- 微粒子膜αおよびκAl2O3モジュール
- 自動TiCl4充填システム
- TiAlNモジュール*
*TiAlNモジュールは最新の開発システムの一つで、高アルミコンテントのTiAlNを高い真空度のプロセスであるVery Low Pressureシステムで製膜します。
主要産業
- マシナリー・製造
サプライヤー情報： ベルネックス社 （IHI Bernex AG) ベルネックス社は薄膜コーティングの世界的リーダーとして硬質、低摩擦係数、耐食性の高品質な幅広い成膜技術を提供します。ベルネックス社はCVD、CVI、アルミナイジング装置のメーカーで、グローバルなコーティング受託サービスも行っています。その高い技術は航空機のエンジンや機械部品、ベアリング、油圧装置に応用されています。
