ベルネックス社 （IHI Bernex AG)

ベルネックス CVDコーティング装置が1970年代初めに市場に投入されて以来、パイオニアとしてその信頼性と品質で実績を重ね、現在もベルネックスCVD装置は世界の大手の超硬切削工具製造メーカーに導入され生産を支え続けています。

ベルネックスCVI (Chemical Vapor Infiltration) システムは、炭素繊維やケイ素材料等のポーラスな素材の内部にコーティングする装置で、ファイバー強化素材(FRC) を製造します。CVIシステムはSiC, BN, パイロリテックカーボンのような素材に耐高温性のコーティングをするために設計された装置です。航空機、自動車、メディカル等の工業素材に応用されます

装置は1～200mbarの圧力で900～1,600℃の温度の成膜プロセスでコーティングできる設計となっています。